美國API臭氧發(fā)生器控制器SCI-552參數(shù)

 - 適合應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)流程 -

CI-552 是臭氧輸送系統(tǒng)的系統(tǒng)控制器，為許多典型系統(tǒng)組件提供電子控制接口，包括：臭氧發(fā)生器、EV 閥、質(zhì)量流量控制器、背壓控制器、Teledyne API 452 臭氧傳感器、Teledyne API 470 溶解臭氧傳感器和冷水機(jī)組。

SCI-552 具有硬件和軟件支持多種系統(tǒng)聯(lián)鎖功能。SCI-552 為很終用戶提供了靈活性，允許通過前面板用戶界面、MODBUS 串行接口或各種離散的數(shù)字和模擬 I/O 點控制系統(tǒng)。SCI-552 設(shè)計用于支持兩個臭氧發(fā)生器，提供兩個獨立的臭氧輸出通道。

特點

RS-232 MODBUS 遠(yuǎn)程支持

控制多達(dá) 2 個臭氧發(fā)生器

很多可連接 2 個 452 型和 470 型臭氧傳感器

控制多達(dá) 4 個質(zhì)量流量控制器

控制多達(dá) 2 個背壓控制器

控制多達(dá) 2 個 EV 閥

控制冷水機(jī)組

系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入

遠(yuǎn)程系統(tǒng)級控制和狀態(tài) I/O 

參數(shù)

顯示 ：2 行 x 40 字母、數(shù)字,真空熒光

分辨率 ：0.01% w/w

周期 ：不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新

數(shù)字I/O ：RS-232 C, 雙向

裝置I/O發(fā)生器支持 ：能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器，工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 引出線

   質(zhì)量流量計控制： 4 - DB-9 連接體，支持四臺質(zhì)量流量 計

   背壓控制器 ：2 - DB-15 連接體，支持兩臺電子背

   壓調(diào)節(jié)器

   臭氧發(fā)生器 ：2 - 10 針I(yè)DC，支持兩臺臭 氧發(fā)生器

   EV閥 2： - 2 針連接體 - 24 VDC

   冷卻器 ：1 - DB-15 冷卻器連接體

客戶系統(tǒng)I/O聯(lián)鎖：

   1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖

   1 - 通訊聯(lián)鎖    (可用戶配置)

   1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)

串行數(shù)字： RE-232, DB-25 (Modbus標(biāo)準(zhǔn) -可選其他選項)

AC電源： 90到240VAC, 50/60 Hz

典型功率： 低于225 W 

尺寸 ：(寬 x 高 x 長) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

重量： 4.94 千克

環(huán)境 ：為室內(nèi)應(yīng)用而設(shè)計

運行溫度 ：5 - 35?C

相對濕度： 80%, 無冷凝

保修 ：1 年

認(rèn)證： CE