住友臭氧發生器 SGRP-03JS

住友的臭氧發生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

具體信息：

型號：SGRP-03JS

臭氧氣體流速：350g/m3(N)

臭氧氣體供應壓力：15L/min (5L/min x 3Line)

冷卻水溫度：20°C±2°C

尺寸：W570mm x D850mm x H1,870mm

重量：360kg

功率：200-220VAC, 3-phase

型號：SGRF-03JA

臭氧氣體流速：400g/m3(N)

臭氧氣體供應壓力：20L/min

冷卻水溫度：5°C

尺寸：W570mm x D850mm x H1,836mm

重量：350kg

功率：200-220VAC, 3-phase

住友臭氧發生器應用：

半導體器件

Si/復合晶圓

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

發光二極管

優勢：

能夠通過單獨控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。

高濃度；高達400g/m3（N）

產品線豐富；小到大容量。

高壓；*大0.3Mpa（SGRP系列）

無氮摻雜（SGRF系列）

高壓耐受，長壽命放電單元

快速啟動，快速響應

與臭氧監測儀（閉環控制）集成的穩定濃度

CE、NRTL、半標準適用

管道材料；從316LSS或PFA中選擇